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低溫等離子體廢氣凈化設備
一、低溫等離子體去除污染物的機理:
等離子體化學反應過程中,等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:
(1)電場+電子→高能電子
(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
過程一:高能電子直接轟擊
過程二:產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片
O2+2e→2O?
O2+O?→O3+e
H2O+2e→H?+HO?H2O+O?+e→2HO?
H?+O2→O
C(a+b)H(m+n)O(x+y)+2e→CaHmOx?+CbHnOy?
過程三:分子碎片氧化
CaHmOx+HO?→CO2+H2O
CaHmOx+O?→CO2+H2O
CaHmOx+O2→CO2+H2O
CaHmOx+O3→CO2+H2O
經過低溫等離子凈化后,廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧,采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理,同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下:
H2O+e→H?+HO?+e
H?+O2→O2+HO?HO?+O3→HO2?+O2
HO2?+O3→HO?+O2
因此在此過程中,部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而以除去。